山东联盛电子申请可兼容六到八寸硅片花篮的抓

　　专利摘要显示，本发现公开了可兼容六到八寸硅片花篮的抓取机械手及硅片清洗机构，抓取机械手包罗箱体基座、两横转杆、若干位于箱体基座左侧的夹爪组；箱体基座的底板上横向陈列有转驱组件、纵移组件，箱体基座的底板的左、左两侧各滑动毗连有挪动板；两挪动板取纵移组件相连；硅片清洗机构包罗抓取机械手、起落气缸、横滑轨、若干清洗槽；横滑轨上设有滑动架，横滑轨上设有横齿条，滑动架上设有滑动架驱动电机；滑动架上毗连有起落气缸，起落气缸取箱体基座相连；各清洗槽位于横滑轨的正下方。本发现抓取机械手及硅片清洗机构可实现对六寸、七寸、八寸硅片花篮的兼容抓取，具有抓取不变、顺应性强、从动化程度高的长处。

　　国度学问产权局消息显示，公开号CN121310935A，申请日期为2025年11月。